装置予約/Make Your Reservation
装置予約システム
装置使用料（2022年3月24日改定）
| 分類 番号 |
学内利用料金 | 学内利用料金 (円/時間） |
学外利用料金 (円/時間） |
|
|---|---|---|---|---|
| 1 | ダイヤモンドワイヤーソー（DWS3500） | 120 | 1,100 | |
| 2 | オスミウムコーター（Tenannt20） | 290 | 1,000 | |
| 3 | プラズマエッチング装置（SEDE-PHL） | 190 | 900 | |
| 4 | マルチエリプソメーター（FS-1） | 100 | 1,400 | |
| 5 | 小型接触角計（P60-A） | 190 | 800 | |
| 6 | デジタルマイクロスコープ( VHX-5000) | 100 | 800 | |
| 7 | マイクロカッティングマシン(BS-300CP) | 260 | 1,500 | |
| 8 | ダイヤモンドホイールソーMECATOME(T205) | 340 | 800 | |