＜装置の概要＞

SEDEシリーズの特殊設計技術により、安定しにくい低電流のプラズマ放電も、長時間安定して行えるようになりました。円筒状で乱れのない低出力プラズマ放電を長時間安定して照射できるため、サンプル表面にダメージを与えない、再現性の高いサンプル処理が行えます。

また、使用の用途により大気・酸素・アルゴンの3種類のガスを選択して導入することが可能です。

• 装置名：ソフトプラズマエッチング装置
• 型　式：SEDE-PHL
• メーカー：メイワフォーシス株式会社
• 製品HP：https://meiwanet.co.jp/products/sede
• 説明動画：https://www.youtube.com/watch?v=RyMyONimM_s

装置予約

お問合せ

＜装置の仕様＞