装置一覧
装置使用料(2022年3月24日改定)
| 分類 番号 |
学内利用料金 | 学内利用料金 (円/時間) |
学外利用料金 (円/時間) |
|
|---|---|---|---|---|
| 1 | ダイヤモンドワイヤーソー(DWS3500) | 120 | 1,100 | |
| 2 | オスミウムコーター(Tenannt20) | 290 | 1,000 | |
| 3 | プラズマエッチング装置(SEDE-PHL) | 190 | 900 | |
| 4 | マルチエリプソメーター(FS-1) | 100 | 1,400 | |
| 分類 番号 |
学内利用料金 | 学内利用料金 (円/時間) |
学外利用料金 (円/時間) |
|
|---|---|---|---|---|
| 1 | ダイヤモンドワイヤーソー(DWS3500) | 120 | 1,100 | |
| 2 | オスミウムコーター(Tenannt20) | 290 | 1,000 | |
| 3 | プラズマエッチング装置(SEDE-PHL) | 190 | 900 | |
| 4 | マルチエリプソメーター(FS-1) | 100 | 1,400 | |