FS-1／ マルチスペクトル・エリプソメーター
＜装置の概要＞
FS-1はMulti-Wavelength Ellipsometer技術により、膜厚計測において、厚さ0～1,000nmの範囲で繰返し精度(Precision) 0.01nm以下を達成することができます。膜厚が0～1000nmである単層の薄膜を対象とした、膜厚と屈折率の測定に優れています。
様々なサンプル（マルチ・レイヤーを含む）の測定において、高い正確性(Accuracy)と精度(Precision)を誇ります。
- 装置名：マルチスペクトル・エリプソメーター
- 型 式：FS-1
- メーカー：メイワフォーシス株式会社
- 製品HP：https://meiwanet.co.jp/products/fs-1
- 説明動画：https://www.youtube.com/watch?v=_0EwmRx-CPI
＜装置の仕様＞
| FS-1 G3 マルチスペクトル・エリプソメーター |
|
|---|---|
| 光源 | LED |
| 使用波長 | 450nm、 525nm、595nm、660nm |
| 精度 (Precision) |
0.001 nm 以内 ※Si基板上の自然酸化膜をデータの取得レート１秒で測定時 |
| 最大データ 取得レート |
10ms |
| 入射角 | 65度 |
| サンプルサイズ | φ200㎜、厚さ23㎜ |
| 照射サイズ | 4 × 9 mm (＊0.55×1.3mm、0.3×0.7mm) ＊オプション使用時 |
| 標準付属品 | – |
| 設置サイズ | W400×D200mm |
| 重量 | 5 ㎏ |
| 電源 | AC100V 0.5A |
| 消費電力 | 50W |