Tennant 20／ オスミウムコーティングシステム
＜装置の概要＞
常温で昇華する四酸化オスミウムを蒸着源とした導電性被膜コーティング装置です。
試料周囲をオスミウムガスで包みこみ、プラズマCVD方式で瞬時にオスミウムをアモルファス（非晶質）コーティングします。
試料上面、側面、下面、さらに複雑構造の奥深くにも均一に回り込むことが出来ます。このため熱ダメージなしに、極薄膜でも電子線ダメージに負けない強固な膜が成膜されます。
SEM観察以外にも各種分析(EDS、EBSD、XPS、Tof-SIMSなど)でのご利用が可能です。
- 装置名：オスミウムコーティングシステム
- 型 式：Tennant 20
- メーカー：メイワフォーシス株式会社
- 製品HP：https://meiwanet.co.jp/products/tennant20
- 説明動画：https://www.youtube.com/watch?v=M7VnorOR9dk
＜装置の仕様＞
| 型式 | Tennant20 |
|---|---|
| チャンバー寸法 | Φ150 × 70㎜ |
| 試料台 装填可能個数 | Φ10 ㎜ × 35 個、Φ15 ㎜ × 10 個、Φ 30 ㎜ × 5 個 |
| タッチスクリーン | あり |
| 電源オフ真空保持機能 | あり |
| 昇華筒開閉検知 | あり |
| 自動排気シーケンス | あり |
| バッフルバルブ | なし |
| ポンプ容量 | 50ℓ/min |
| 消費電流 | AC 100V 最大10A（真空ポンプの起動含む） |
| 重 量 | 22 kg |
| 最大消費電力 | 780 W |
| 本体外径寸法 | 390（W）×385（D）×435（H）mm |